复合材料学报

作者：陈爱莲, 王婉莹, 马翔宇, 蔡文杰, 陈杨,

关键词：CeO₂, 掺杂, 复合磨粒, 核-壳结构, 抛光,

在低模量介孔SiO₂ （Mesoporous silica，mSiO₂）微球表面负载Sm掺杂CeO₂纳米粒子，制备了具有均匀完整核-壳结构的非刚性mSiO₂@Ce_{1-<em>x</em>Sm_<em>x</em>O₂（<em>x</em>=0，0.23）复合颗粒。借助XRD、SEM、HRTEM、STEM-EDX Mapping、Raman光谱和N₂吸-脱附等技术对产物进行结构表征，利用AFM和三维光学轮廓仪评价Sm元素掺杂处理对mSiO₂@Ce_{1-<em>x</em>Sm_<em>x</em>O₂（<em>x</em>=0，0.23）复合颗粒抛光效果的影响。讨论了Sm掺杂复合磨粒的高效无损超精密抛光机制。结果表明：掺杂处理可使mSiO₂@Ce_{1-<em>x</em>Sm_<em>x</em>O₂（<em>x</em>=0，0.23）复合颗粒的抛光效率提高近36%，达到84 nm/min，同时获得具有原子量级精度的加工表面，抛光后SiO₂薄膜的粗糙度平均值和均方根分别为0.14和0.17 nm。}}}

来源：2020年第4期

《复合材料学报》期刊编辑部

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