复合材料学报

作者：吴强, 于澍, 李云平, 李晓, 刘京, 钟慧,

关键词：C/C复合材料, 化学气相沉积, 非晶SiO₂涂层, 生物活性, 沉积温度,

以正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体，N₂为载气，在C/C复合材料表面通过低压化学气相沉积（LPCVD）得到非晶SiO₂涂层。研究了沉积温度对涂层成分、涂层形貌和沉积速率的影响。通过XRD、XPS、FTIR、SEM和EDS等测试手段，对涂层的成分、微观形貌以及模拟体液浸泡后材料的生物活性进行了表征和分析。实验结果表明：涂层的主要物相为非晶SiO₂；模拟体液浸泡至35天，样品表面生成类骨羟基磷灰石，与未涂层的C/C复合材料相比，表明非晶SiO₂涂层具有良好的生物活性。随着沉积温度的增加，沉积速率增大，涂层包覆更加完整；SiO₂颗粒由不规则形状转变为规则的球形，最后转变成多边形。

来源：2017年第7期

《复合材料学报》期刊编辑部

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